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  • 用于平面的单侧研磨
  • 用于平面的双侧研磨
  • 工件载体
  • 以研磨垫表面的形状为特征,如带有槽的
  • 以垫的材料成分或特性为特征
  • 以多层结构为特征
  • 用于加工平面的研磨垫
  • 以研磨片表面的形状为特征,如带有槽的
  • 以片的材料成分或特性为特征
  • 用于加工平面的研磨片
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  • 用于单侧研磨
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  • 以工件或研具的运动为特征
  • 适用于加工平面的
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